Внесок в епітаксію нітридів алюмінію та бору хімічним осадженням парів при
Внесок в епітаксію нітридів алюмінію та бору шляхом хімічного осадження парів при високій температурі Нікола Кудюр'є Навести цю версію: Ніколас Кудюр'є. Внесок в епітаксію нітридів алюмінію та бору шляхом хімічного осадження парів при високій температурі. Матеріали. Університет Гренобля, 2014. Французька. . Ідентифікатор HAL: tel-00994936 https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00994936 Надіслано 22 травня 2014 р. HAL - це мультидисциплінарний архів відкритого доступу для зберігання та розповсюдження науково-дослідних документів, незалежно від того, опубліковані вони чи ні. Документи можуть надходити від навчальних та дослідницьких установ у Франції чи за кордоном, або від державних або приватних дослідницьких центрів. Мультидисциплінарний відкритий архів HAL призначений для зберігання та розповсюдження наукових документів наукового рівня, опублікованих чи ні, від французьких або зарубіжних навчальних та дослідницьких установ, державних чи приватних лабораторій.
Дипломна робота Для отримання звання ЛІКАРА УНІВЕРСИТЕТУ ГРЕНОБЛЬ Спеціальність: матеріали, механіка, цивільне будівництво, електрохімія Указ міністра: 7 серпня 2006 р. Представлено Ніколасом КУДЬЮРЕ Дисертація режисера Мішеля ПОНСА та співрежисера Рафаеля БУШО, підготовленого в лабораторії SIMaP в докторській школі "I-MEP²" "Матеріалознавство, механіка, навколишнє середовище, енергетика, процеси, виробництво" Вклад в епітаксію нітридів алюмінію та бору шляхом хімічного осадження парів при високій температурі у складі: пані Елізабет БЛАНКЕТ, директор з досліджень в SIMaP Гренобль, президент п. Габріель ФЕРРО, директор з досліджень в LMI Ліон, репортер пані Енн ГЕНРІ, професор Технологічного інституту Лінчепінг (Швеція), репортер п. Френсіс МОРІ Директор з досліджень CIRIMAT Тулуза, експерт Пан Рафаель БУЙШОТ Лектор в Греноблі INP, співнаглядач Мішель ПОНС, директор дослідження в SIMaP Гренобль, директор дипломної роботи пан Вінсент ФЕЛЛМАНН, інженер, ACERDE, експерт, пан Дідьє Піке, інженер, SPADE, екзаменатор
Нарешті, дякую колишнім докторантам та докторантам лабораторії Вінсенту, Клементу, Жану Жану, Клер, Коралі, Одрі та Тібо за сприяння моїй інтеграції після мого прибуття до лабораторії. Сподіваюсь, у цьому списку подяк є чи нікого. Ці три роки в ораторії SIMaP були фантастичними та збагачуючими з особистої та професійної точки зору. Я сподіваюся, що наші докторанти все одно отримають вигоду від умов праці, прийому та підтримки, яку я відчув у групі ТОП. 3 Стор
5.1.3. Зв'язок між перенасиченістю під час росту, швидкістю росту та температурою. 135 5.2. Випадок зростання БН. 139 5.2.1. Вибір субстрату. 139 5.3. Порівняння приростів AlN та BN. 139 5.4. Бібліографічний розділ V. 140 Висновки. 143 7 Сторінки
Зміст 8 Стор
піддається морфології та кристалічній якості утворених шарів. У цій частині також розроблено додавання проміжної стадії росту. Розділ IV висвітлює результати зростання БН. Процес був оптимізований шляхом вивчення параметрів співвідношення витрат попередників та температури. Також представлені тести на зростання на металевій підкладці. Нарешті, у главі V узагальнено експериментальні та термодинамічні результати, отримані на двох вивчених системах. Детальне пояснення механізмів росту дає краще розуміння впливу співвідношення N/Al на стан шарів AlN o. Розуміння наслідків різних стадій росту допомагає пояснити результати, проведені в главі III щодо зростання AlN. Також виявляється вплив сустрату на ріст БН. Нарешті, проводиться порівняння швидкості росту, перенасичення газової фази, температури та кристалічного стану утворених шарів. 11 Стор
Вступ 12 Сторінки
Хімічне випаровування парів Випадок дифузійного режиму: DAB k A DAB cx A Для кінетичного режиму, який спостерігається при низькій температурі, хімічна реакція набагато повільніша, ніж дифузія видів через прикордонний шар: Випадок кінетичного режиму: DAB k kcx AA Для того, щоб визначити вартість, що стосується швидкості зростання = f (температура), слід провести розмірний аналіз терміна D AB/δ: з Sh число Шервуда. Можна помітити, що Sh = з L - розмірна характеристика реактора (наприклад, діаметр сприймача). Число Шервуда, безрозмірне число, може бути апроксимоване емпірично як функція від чисел Рейнольдса та Шмідта: Показник n числа Ренольдса коливається між 0,33 і 0,8 залежно від уподобань сприймачів та шансів. Якщо нас цікавить вплив температури на числа Рейнольдса і Шмідта, ми отримуємо такі рівняння: (кінетична теорія газів) як швидкість потоку рідини, так і її кінематична в'язкість [75]. (кінетична теорія газів) 31 ст
Широкий проміжок зони III/V нітридів Потім ми можемо оцінити вплив температури на число Шерда: Отже, дифузію попередника A можна визначити за: У дифузійному r gi e, l еволюція молярного потоку від A до розрахункової поверхні як функція температури та константи uelcon M становитимуть: Натуральний логарифм потоку речовини A (апроксимований наступними рівняннями:), в дифузійному та кінетичному режимі, може бути, виходячи з цих двох рівнянь, можна намалювати криву на малюнку 1.19, що представляє потік матеріалу А як функцію температури. Для кращого розуміння явищ матеріального транспорту, що діють при ССЗ, більш точні пояснення наведені в роботі Bird et al. [75]. Рисунок 1.19: теоретичне представлення натурального логарифму потоку попередника А як функції 1/Т із суцільною лінією у випадку, коли Re дорівнює 0,5, а пунктирними - випадків для мінімальних та максимальних значень потужності, прикладеної до Re (від 0,33 до 0,8). Отже, зростання ССЗ обмежений двома фізичними явищами. При низькій температурі швидкість дифузії видів на поверхні матеріалу швидша, ніж їх реакція, і ми 32 П а г е
Формування самонесучої підкладки w-aln шляхом від'єднання від основи попередника та їх якості відповідають бажаним технічним характеристикам та дозволяють пилоутворювати поверхню. Основним обмеженням залишається якість отриманих шарів, які найчастіше мають тріщини та високу щільність дислокацій. 43 Сторінки
1800 C, ”Журнал прикладної фізики, вип. 61, п. 18, с. 2822-2825, 1987. [63] К. Ватанабе, Т. Танігучі, Т. Нііяма, К. Мія та М. Танігучі, “Ультрафіолетовий ручний пристрій із плазмовим випромінюванням на основі гексагонального нітриду бору”, Nature photonics, vol. 3, п. 110, с. 591-594, 2009. [64] А. Бартл, С. Бор, Р. Хаубнер та Б. Люкс, "Порівняння синтезу алмазу та c-bn CVD низького тиску", Міжнародний журнал вогнетривких металів та твердих матеріалів, політ. 14, п.11, с. 145-157, 1996. [65] М. Вакацукі, К. Ічіносе та Т. Аокі, “Синтез полікристалічного кубічного БН”, Матеріали 51 Сторінки
Широкий діапазон нітридів III/V, pp. 2750-2755, 2012. [159] C. с. SiC, “www.cree.com/led-chips-and-materials/materials,”. 58 Стор