Тонкоплівкові металеві матеріали та аплікації
фотолітографія - це пост-обробка іноді наносять на металеві шари, отримані вакуумними процесами. Це процес травлення, який широко використовується в напівпровідниковій промисловості для виготовлення електронних компонентів. Ця техніка полягає у використанні світлочутливої смоли, опромінення останньої через хромовану маску, дозволяє робити візерунки на плоскому компоненті.
Ми визначимо різні техніки фотолітографії
«Класична» фотолітографія
Кілька етапів складають класичний процес фотолітографії:
Заздалегідь проводиться нанесення металу (або оптики). Потім поверхню покривають більш-менш в’язкою смолою методом спінового покриття (товщина, яка буде залежати від швидкості травлення та товщини металевого шару)
Смолу відпалюють. Потім цю смолу піддають УФ-випромінюванню через хромовану маску, що представляє візерунки
Залежно від природи смоли (позитивної чи негативної), частина, що зазнала дії УФ, елімінується, або навпаки. Це етап одкровення.
Етап травлення полягає у видаленні металевого осаду, не захищеного смолою, є 2 дуже широко використовувані методи: найчастіше застосовується мокре травлення (хімічний процес), також застосовується сухе травлення (плазмовий метод, подібний до напилення).
Врешті-решт ми отримуємо або безпосередньо візерунок маски, або додатковий. Цю техніку можна також використовувати для оптичних відкладень, однак важко знайти відповідний травитель.
Ось чому ми побачимо метод, який застосовується у переважній більшості випадків у Кердрі, Зніміть Фотолітографію
Підніміть фотолітографію
Основна відмінність від звичайної фотолітографії полягає в тому, що два шари смоли (А і В) осідають і піддаються дії УФ-випромінювання перед проведенням оптичного або металевого осадження. Це дозволяє уникнути травлення покриття під вакуумом, досить просто видалити смолу А, щоб отримати остаточний малюнок.
Вся складність процесу фотолітографії пов’язана зі знанням смол та продуктів травлення, але перш за все із застосуванням вирівнювача масок, що змушує візерунок правильно підбиратись до основи.
Приклад застосування
Таким чином, методи фотолітографії дають змогу працювати над складними деталями, зокрема, регулюючи візерунки на вже існуючих доріжках з точністю до порядку мкм або навіть нм. Кердрі використовує цей дуже потужний інструмент різними способами