Механізми «проростання-зростання» тонких металевих плівок, синтезованих конденсацією
Додати до Менділі
резюме
У цій дисертації ми розглянемо експериментальні аспекти процесів проростання-росту тонких плівок, отриманих діодним напиленням. Більша частина цього дослідження проводиться на тонких шарах міді, але, в останній частині цього мемуару, нас також зацікавлять родовища Ag, Al, Be, Cd, Fe, Ti та Si. Щільність тонкого шару була функцією параметрів світлового розряду, ми виділяємо його варіацію з товщиною, ефект, який ми позначаємо під назвою анізотропія. Нарешті, ми обговоримо можливість того, що тонкий шар деяких з досліджуваних металів повинен конденсуватися певною товщиною у гіпергустій формі.
Анотація
Ми розглянемо деякі експериментальні аспекти, представлені процесами зародження та росту тонких плівок, отриманих розпиленням в діодній системі. Найважливіша частина цього дослідження проводиться з тонкими мідними плівками, але, особливо в останній частині статті, ми також вивчаємо такі матеріали, як Ag, Al, Be, Cd, Fe, Ti та Si. Перш за все, ми показують, що щільність тонкої плівки є складною функцією параметрів розжареного розряду та геометричної товщини плівки, властивість, яку ми позначаємо терміном «анізотропний ефект». Нарешті ми обговоримо те, що ми називаємо "ефектом гіпергустини", тобто можливість, представлена тонкими плівками деяких досліджуваних нами матеріалів, мати, зокрема, товщину, більшу щільність, ніж об'ємний матеріал.
Попередній стаття у випуску Далі стаття у випуску